光電產品製造過程中VOCs的排放（fàng）

今天小編繼續為您介紹（shào）在光電產品製造行業中，產生廢氣（qì）汙染的主要有五類產品的製造過程:半導體集成電路、TFT-LCD、LED、印製電路板(PCB)、電子終端產品。這幾個也是我們廢氣處理經常麵（miàn）對的。

①半導（dǎo）體集成電路製造過程中VOCs的排放半導體（tǐ）製造（zào）工（gōng）藝（yì）中VOCs主要來源於（yú）光（guāng）刻、顯影工序，在這些工序中要用有機溶液（yè）(如異丙醇)對晶（jīng）片表麵進行清（qīng）洗，其（qí）揮發產生的廢氣是有機廢氣的來源之一。同時，在光刻過程中使用的光（guāng）阻劑（jì）(光刻膠)中含（hán）盡有易揮（huī）發的有機溶（róng）劑，如乙酸丁酯等，在晶片處理過程中（zhōng）產生的（de）有機廢氣也要揮發到大術氣中（zhōng）。
   ②TFT-LCD製造過程中VOCs的排（pái）放包括檢査和測試（shì）在內，TFT-LCD的製造生產製工藝可達（dá）到100多道工序，生產過程中使用多種（zhǒng）化學有機溶劑和特殊氣體，產生的VOCc多量大，組分（fèn）複雜。TFT液晶麵板生產排放VOCs汙染物的工序主要集中在陣列工程和彩膜（mó）時工（gōng）程兩大部分。陣列工程中的光刻(塗膠、曝光和顯影)，以及彩膜工程中的黑色矩BM膜製造、彩色矩陣膜形成(紅、綠、藍，RGB)、保護膜生成、MVA膜、PS( Photo Spacer)膜（mó）生成是（shì）產生VOCs的主要產（chǎn）生少量VOCs。TFT-LCD的製造過程中產生的VOCs主要是以異丙醇為主，其次依序是丙酮、單甲（jiǎ）基醚丙二（èr）醇、單（dān）甲基醚丙二醇乙酸酯，這四種成分占了全部VOCs量的90％以上（shàng）。

③LED電子組件製造過程（chéng）中VOCs的排放LED電子組件生（shēng）產產（chǎn）生（shēng）的（de）VOCs汙染物主要來（lái）源於基片處理和光刻，LED生產過程中產生VOCs的（de）種類主要有三氯乙烯、丙（bǐng）二醇醚酯、異丙醇、丙酮、丁酮等。

④印製（zhì）電路（lù）板(PCB)製造（zào）過程中VOCs的排放在（zài）單麵、雙麵和多（duō）麵印製電（diàn）路板製作工藝中，產生的VOCs工藝環節相對較集中，主要（yào）來源於貼膜、烘幹、江、印刷（shuā）等工子，VOCs排放種類主要有甲醛、醇類(乙醇、異丙醇、丁醇、丙醇)、酮類(丁酮（tóng）)、酯類劑的貯存過程中也會有部分乙酸乙VOCs產生和排放。

⑤電（diàn）子終端產品製（zhì）造過程中VOCs的排放在電（diàn）子終端產品製造中，VOCs的主（zhǔ）要來源包括電路板清洗劑有機廢氣(使用有機溶劑型清（qīng）洗（xǐ）劑)、電路板三（sān）防噴漆廢（fèi）氣、機売(機箱)噴漆廢氣、機殼注塑廢氣。這些廢氣均來自工位上的局部排風係統，特點是排風量大、濃（nóng）度低。

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