半（bàn）導體廢氣處理
一、半導廢（fèi）氣處理成份
半導體行業廢氣主要成分為（wéi）有機廢氣和酸堿廢氣（qì）兩類。有機類成分：非甲烷總烴（tīng）、氮氧化物、二（èr）氧化硫等，酸堿類成分：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯（lǜ）氣等。
二、行業排放標準
三、半導體廢氣處理方法（fǎ）
一般半（bàn）導體行業針對廢氣處理的解決（jué）方案如下（xià）：
(1)預處理階段：采用噴淋塔先對（duì）廢進行（háng）預處理，去除粉塵以及易（yì）溶（róng）於水的有害氣體。
(2)主要處理階段：在此階段，比較常見（jiàn）而有（yǒu）效（xiào）方法有：UV光解，生物過濾分解，焚燒和催化燃燒（shāo）等。
由於每家企業具體產生的廢氣成分、風量大小、廢氣濃度不同，所以采用的半導體廢氣（qì）處理方法（fǎ）也會不同或者需（xū）要多種方法結合使用，具體處理（lǐ）方（fāng）案可以谘詢我們（men），我（wǒ）們將有工程師一對一為您（nín）定製廢氣處理方案。
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